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在玻璃基板制造行業(yè)中，超純水通常被廣泛用于清潔和處理工藝。該設(shè)備也稱為連續(xù)電去離子裝置，簡稱EDI。雜質(zhì)一般來說，超純水在玻璃基板行業(yè)的應(yīng)用需要達(dá)到以下標(biāo)準(zhǔn)：

電導(dǎo)率要求：電導(dǎo)率是衡量水質(zhì)純度的重要指標(biāo)之一。對(duì)于玻璃基板行業(yè)來說，電導(dǎo)率必須非常低，一般在1—10μS/cm的范圍內(nèi)。

微生物的限制：由于玻璃基材對(duì)雜質(zhì)非常敏感，因此要求超純水中的微生物含量極低，一般要求不含細(xì)菌和有害微生物。

化學(xué)成分限制：不能含有對(duì)玻璃基板有害的化學(xué)成分，如重金屬、有機(jī)物、溶解固體等。

顆粒物限制：在玻璃基板上留下顆?；蛭蹪n的微小顆粒物不會(huì)留下。

pH值要求：超純水的pH值通常要求為中性（接近7），不會(huì)對(duì)玻璃基板表面造成腐蝕或其他不良影響。

溶解氧含量要求：對(duì)于特定的工藝要求，超純水中的溶解氧含量需要很低，以避免玻璃基板表面發(fā)生氧化反應(yīng)。

純度要求：超純水要經(jīng)過多次過濾、離子交換等凈化步驟，以確保滿足玻璃基板生產(chǎn)過程中的高純度要求。