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液晶面板制造的前段Array制程主要是薄膜、黃光、蝕刻、剝膜四大部分。液晶面板生產(chǎn)大約50%以上工序中硅片與超純水直接接觸，有80%以上工序需要進(jìn)行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有密切關(guān)系，并且直接與工件接觸，如果水質(zhì)不純，就會(huì)導(dǎo)致器件性能下降，影響產(chǎn)品性能，進(jìn)而影響了產(chǎn)品的良率，因此，超純水的品質(zhì)對(duì)液晶面板發(fā)展有很大影響

1.超純水的重要性

在液晶面板生產(chǎn)過程中，大約50%以上的工序涉及到硅片與超純水的直接接觸，而80%以上的工序需要進(jìn)行化學(xué)處理。這些工序中的任何污染都可能造成產(chǎn)品缺陷，影響顯示質(zhì)量和使用壽命。因此，超純水的水質(zhì)直接決定了液晶面板的最終質(zhì)量。

2.水質(zhì)要求

根據(jù)液晶面板的不同要求，超純水需要達(dá)到不同的電阻率標(biāo)準(zhǔn)，如10兆歐、15兆歐和18.25兆歐等，這些標(biāo)準(zhǔn)確保水中的雜質(zhì)被降到最低。尤其是現(xiàn)代液晶面板生產(chǎn)對(duì)水質(zhì)的要求越來越高，以適應(yīng)越來越精細(xì)的生產(chǎn)工藝。

3.制備技術(shù)

超純水的制備通常采用多級(jí)水處理技術(shù)，包括反滲透（RO）、離子交換、紫外線殺菌和超濾等。這些技術(shù)結(jié)合使用，能夠有效去除水中的離子、有機(jī)物及微生物，確保水質(zhì)達(dá)到液晶面板生產(chǎn)的極高標(biāo)準(zhǔn)。

4.影響因素

超純水中的微量雜質(zhì)如硅、鐵、鈣等，即使在微小的濃度下，也能對(duì)液晶面板的性能產(chǎn)生負(fù)面影響。因此，生產(chǎn)過程中對(duì)超純水的持續(xù)監(jiān)測(cè)和控制是必要的。此外，水溫、pH值等參數(shù)也對(duì)水質(zhì)有顯著影響，必須嚴(yán)格控制。